ZYGO深耕超精密制造技術領域數十年，是全球表面測量、位置傳感與精密光學元件制造領域的企業，始終以前沿技術為各行業打造專業光學計量解決方案。NewView™
90003D光學表面輪廓儀作為ZYGO旗下核心計量產品，深度融合非接觸測量技術、亞納米級高精度性能與全場景智能化設計，打破傳統精密測量的環境與操作限制，既滿足實驗室高端研發的嚴苛測量需求，也適配工業生產全流程的過程控制與在線檢測，成為各行業實現精密計量、提升產品質量與研發效率的關鍵工具。
核心技術：筑牢超精密測量的技術基石
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9000以相干掃描干涉技術（CSI）為核心測量原理，這也是ZYGO多款3D光學輪廓儀的技術核心。設備通過窄線寬濾波的LED光源生成干涉條紋，精準采樣分析樣品測試表面與理想參考面的偏差，借助干涉顯微物鏡垂直于樣品表面掃描，可獲取整個視場區域的三維數據地圖，而非單一剖面線輪廓，實現亞納米級的形貌縱向分辨率，讓納米級的表面形貌特征無所遁形。
為保障測量高保真度，ZYGO為每一款配套物鏡進行專屬優化，使干涉條紋包絡的峰值位置與物鏡光學成像焦點精準契合，確保全放大倍數下測量精度始終穩定。同時，設備融合SureScan?抗振掃描技術，可有效抵消工業環境中的振動干擾，打破傳統精密測量設備對嚴苛無振環境的依賴，實現工業現場的高精度計量。
高精度、高效率、高適配的表現
亞納米級精度，測量結果國際認證
設備擁有優秀的測量精度與重復性，表面形貌重復性優于0.08nm，RMS重復性達0.008nm；100×物鏡下光學橫向分辨率可達0.34μm，100×物鏡2×zoom下空間采樣分辨率達0.04μm。臺階高度測量重復性0.1%、精度0.03%，能精準捕捉樣品表面納米級形貌特征，測量結果符合ISO25178、ISO4287/4288等國際標準，為計量結果提供背書。
高速測量+簡易操作，大幅提升計量效率
設備支持高速掃描，不同測量陣列下最大掃描速度可達171μm/sec，數秒內即可捕獲百萬級數據點，擺脫傳統測量的低效率痛點。搭載PartFinder自動條紋對焦與SmartSetup智能設置功能，無需專家級專業培訓，1分鐘內即可自動找到條紋并完成測試，大幅降低操作門檻，讓非專業人員也能輕松完成精密測量。
同時，設備配備0.5X-100X多倍率物鏡，涵蓋標準、長焦、超長焦多種工作距離，搭配0.5X、0.75X、1.5X、2.0X可選zoom切換，視場范圍可達0.04-17.49mm，集成圖像拼接功能后還可實現更大范圍測量，適配不同尺寸、不同精度要求的樣品檢測。
全材質適配，無損傷測量更省心
設備具備很強的樣品適配能力，可測量透明、不透明、鍍膜、非鍍膜、反射、弱反射等各類材料表面，樣品反射率適配范圍達0.05%-100%；可耐受光滑樣品55°（100×物鏡）、散射面86°的最大傾斜度，樣品最大尺寸可達89×203×203mm（高×寬×長），更大尺寸樣品可部分懸空放置測量。全程無需特殊樣品制備流程，非接觸、無破壞性測量，有效保護樣品原有形貌與性能。
智能內核：軟硬件協同，解鎖多元分析能力
專屬Mx™
分析測量軟件，全流程智能管控
設備搭載ZYGO專屬Mx?分析測量軟件，實現系統全流程控制與數據分析的一體化操作：支持交互式三維形貌展示，讓表面特征可視化呈現；可輸出精準定量數據，配備直觀導航欄與內置過程控制（SPC）的統計、控制圖表，還能自定義設置通過/失敗限制，貼合工業生產的質量管控需求。
豐富分析功能，適配多元測量需求
軟件內置多項實用分析功能，區域分析工具可智能化分離并分析測量數據的不同區域，實現特征高度尺寸量化、溝槽寬度深度分析等；支持拼接測量與自動化功能，可拼接高倍率高分辨率數據，自動測試樣品不同區域，兼顧大視場范圍與高數據密度；內置Python編程環境，可編寫自動化測試程序或自定義分析功能，還能創建專屬軟件界面和控制板，靈活適配不同行業的個性化測量需求。
此外，設備搭載SmartPSI技術，實現高精度、高速、低噪聲測量，對超光滑表面的Sq結果測量可達0.06nm，為超光滑表面檢測提供更精準的解決方案。
硬核配置：穩定可靠，適配多場景環境
核心硬件，精準耐用
掃描裝置采用閉環反饋電容控制精密壓電陶瓷，帶防撞保護，縱向掃描范圍涵蓋150μm精密壓電陶瓷掃描與20mm擴展掃描，兼顧精細掃描與大范圍測量；光源為專利固態白光光源，帶手動限位、孔徑限位與光譜過濾功能，光線穩定且可靈活調節；測量陣列可選1600×1200、1000×1000、1000×600、1000×200多種規格，適配不同測量效率需求。
樣品臺分手動與電控兩種類型，手動平臺XY向平移范圍100mm、傾斜±3°，電控平臺XY向平移范圍150mm、傾斜±3°，編碼XYZ軸可選配；精密聚焦支持電控手動與聚焦輔助自動聚焦，100μm行程下分辨率達0.1μm，軟件Mx中還集成樣件觀察窗，便于樣品快速定位與實時觀察。
整機規格合理，環境適應性強
設備主機尺寸75×64×56cm，含支撐且門關時最大高度151×73×61cm，抽屜閉合時83×73×61cm，主機重量約91Kg，整套系統含支撐重量229Kg，可按需選配專用工作臺，布局靈活不占過多空間。
控制系統采用i7級別PC，搭配23寸1080p顯示器，軟件運行于64位MicrosoftWindows10系統，操作流暢、響應迅速。設備對環境適應性強，工作溫度15-30℃（溫度變化率＜1.0℃/15分鐘），相對濕度5%-95%且無凝結；內置隔振系統，可隔離1-120Hz的震動，震動標準達VC-C或更好，聲學標準NC30或更好；供電為100-240VAC、50/60Hz，全球多地區均可適配使用。
全場景應用：覆蓋多行業，賦能研發與生產
NewView?9000憑借多維度性能優勢，成為跨行業的精密計量利器，覆蓋精密制造、研發創新等多個領域，為各行業技術升級與產品質量提升提供堅實計量支撐：
1.精密機械加工：測量機械零件表面粗糙度、面形、波紋度，精準檢測臺階高度、溝槽尺寸等關鍵參數，可捕捉傳動齒輪接觸面中頻波紋度等傳統計量方式難以發現的誤差，嚴格控制制造工藝，提升零部件加工質量。
2.光學制造：適配光學鏡片、透鏡等元件的超精密測量需求，借助多倍率物鏡測量不同空間頻率的表面特征，SmartPSI?技術快速完成超光滑光學表面的粗糙度測量，精準管控精密光學制造工藝。
3.消費電子：測量手機攝像頭、面板、半導體器件等產品的臺階、深度、紋理與關鍵尺寸，單臺設備完成多參數測量，節省工藝時間；靈活的平臺與可移植應用程序，實現從研發到量產的計量方案復用，適配消費電子行業小批量到大批量的生產需求。
4.摩擦學與材料研發：對金屬、陶瓷、玻璃、PTFE納米復合膜、類金剛石薄膜等多種材料進行納米級精度表面特征測量，為磨損分析、新材料表面性能研究提供定量3D形貌數據，加速新材料研發進程。
5.透明薄膜測量：可測量厚度大于400nm的薄膜，同時獲取薄膜厚度與表面形貌數據，適配光學薄膜、電子薄膜等產品的檢測需求。
6.先進技術研發：為新材料、新表面、新工藝的科學探索提供高精度、高重復性的量化計量結果，助力研發人員分析樣品表面特征與性能的關聯，加速技術創新。
7.醫療與新興領域：測量人工關節植入體等醫療精密部件，以及增強現實、虛擬現實顯示器件等創新產品，為高端醫療與新興科技產品的質量把控提供計量保障。
定制服務：全周期保障，貼合個性化需求
ZYGO擁有專業的工程師團隊，可根據客戶的關鍵計量需求，為NewView?9000提供定制化解決方案，包括定制樣品夾具、定制保護罩、專屬隔振系統、定制軟件功能，以及系統集成與OEM服務等，貼合不同行業、不同企業的個性化測量需求。
同時，ZYGO在全球多地布局完善的服務網絡，憑借數十年超精密計量技術經驗，為客戶提供全周期技術支持與服務保障，定期維護、及時響應，確保設備始終保持穩定的測量性能，貼合客戶在研發與生產中的長期計量需求。
從實驗室的高端研發到工業現場的在線檢測，ZYGONewView?90003D光學表面輪廓儀以超精密的測量性能、智能化的操作體驗、全場景的適配能力，成為各行業精密計量的核心之選，助力企業以精準計量推動工藝升級，以品質鑄就產品核心競爭力。
光學計量廣泛用于實驗室測量和工業制造中過程控制。基于光學計量方案測量表面形貌；具有非接 觸、無破壞性、高敏感性的特點，計量結果分辨率和精度出色——這都是現代工業制造和研發 應用所必需的。
為什么選擇3D 光學輪廓儀?
現代科技產品開發，常常是由關鍵表面的關 鍵性能來推動。3D 光學輪廓儀，用于測量關 鍵面的光潔度、粗糙度和形貌。ZYGO 3D光 學輪廓儀是您測量工具，因為我們能精 確、定量、非接觸測量，在數秒內捕獲百萬 數據點，表征樣品表面納米級形貌特征，計 量結果符合ISO 標準。
NewViewTM 9000 3D 光學表面輪廓儀，易于使用，擁 有多項優良專業與創新技術，ZYGO 為您提供這一專業解決方案。
它們高度自動化，用途廣泛，測試速度快，精度高；可選多種 配置，用于測量超光滑，粗糙或者大坡度表面。
在測量不同表面結構和紋理時，客戶可以選擇獲得數百個參數結 果，包括符合ISO 25178標準的表面粗糙度結果，以及符合
ISO 4287/4288的二維輪廓參數。
ZYGO 3D光學輪廓儀，不僅僅是比傳統的接觸式輪廓儀測量表 面時更快，測量的視野更大，數據點更多；我們在精度和準確度 上，比傳統的接觸式輪廓儀更上一層樓。
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